色譜螺旋型結構。傳統(tǒng)色譜分離柱一般由有機玻璃制作，由于其長度一般較長，在安裝和使用過程中都環(huán)繞成螺旋狀，而在初期制作微型色譜分離柱時，科研人員還是繼承了這一點，將微型分離柱設計為螺旋型結構。其中，該結構又可以分為圓形螺旋型結構和正多邊形螺旋型結構（常見的為正方螺旋型）。與其他結構相比，在制作相同截面形狀和長度的色譜分離柱時，螺旋型結構分離柱所占的基底面積最小。
將MEMS技術用于制造微型氣相色譜分離柱開始于1979年美國斯坦福大學的科學家S.C.Terry等人在硅基底上制造的螺旋型分離柱，總長1.5m，通過各向同性濕法腐蝕，制作的分離柱溝槽截面寬200μm、深30μm。盡管該微型分離柱的性能不如傳統(tǒng)的石英玻璃分離柱，但實現(xiàn)了簡單烷烴化合物和混合物的快速分離。涂覆OV－101固定相后，對戊烷和己烷的保留時間分別為3.3和4.6s。
盡管S.C.Terry等人制作的微型氣相色譜分離柱與現(xiàn)在的研究非常接近，但由于當時微型化的需求還不夠強烈，并未引起當時科學界的重視。直到90年代初期，微型氣相色譜分離柱的制造在全世界范圍內(nèi)得到了重視，并快速發(fā)展。該系統(tǒng)包括：微型進樣裝置和螺旋型結構色譜分離柱（長0.9m，截面寬300μm，深度僅有10μm，各向同性濕法腐蝕制作），涂覆有銅酞菁（CuPc）固定相用來分離和檢測NH3和NO2，對NH3和NO2的分辨率達10－6量級。有機玻璃干燥管